羅茨真空泵工作時轉子與轉子,轉子與泵體互相不接觸,因此沒有直接磨損,但由于間隙很小(一般0.10～0.25 mm),經長期運轉后傳動齒輪磨損,當齒側間隙大于轉子間小間隙時,將產生相碰而發生故障,此時則應更換齒輪.一般在運轉一年則應進行大修一次,檢查齒輪及軸承的磨損情況,檢查密封裝置,更換密封圈(環),檢查轉子情況,轉子結垢情況,泵體內表面情況和結垢情況.
